擴散硅壓力傳感器的量程指的是傳感器能夠準(zhǔn)確測量的壓力范圍。量程是選擇和使用擴散硅壓力傳感器的一個非常重要的參數(shù)，因為它直接決定了傳感器能否適用于特定的應(yīng)用場景。以下是對它量程的詳細(xì)解析：

一、量程范圍概述

低量程段：硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。

高量程段：部分高性能的擴散硅壓力傳感器，其量程可達(dá)上百MPa，如WPAK63擴散硅壓力傳感器的量程范圍包括-100kPa～0～10kPa至100MPa。

二、具體量程示例

特定型號量程：特殊結(jié)構(gòu)尺寸的充油傳感器芯體，其量程可包括20kpa、35kpa、50kpa、70kpa等多種選擇。

應(yīng)用場景定制：在實際應(yīng)用中，如真空室負(fù)壓變化監(jiān)測，可能會選擇量程為-0.1~0.15MPa的擴散硅壓力傳感器，以確保器件使用安全并滿足測量精度要求。

三、量程選擇與注意事項

超量程或降量程選用：在選用時，如果需要進(jìn)行超量程或降量程操作，幅度應(yīng)控制在±30%FS（滿量程）以內(nèi)，以確保傳感器的測量準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

介質(zhì)兼容性：在選擇擴散硅壓力傳感器時，還需要考慮其介質(zhì)兼容性。不同的傳感器可能對液體、氣體或蒸汽的兼容性有所不同，因此需要根據(jù)具體的應(yīng)用場景來選擇合適的傳感器。

四、量程與性能參數(shù)的關(guān)系

靈敏度：擴散硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計高50～100倍，因此相應(yīng)的傳感器靈敏度也很高。一般來說，量程輸出為100mv左右，這使得傳感器對接口電路無特殊要求，使用比較方便。

溫度影響：擴散硅壓力傳感器的溫度穩(wěn)定性也較好，一般在-40℃～ 85℃范圍內(nèi)工作時，其性能變化較小。此外，部分傳感器還提供了溫度補償功能，以進(jìn)一步提高測量精度。

綜上所述，擴散硅壓力傳感器的量程范圍廣泛且可根據(jù)需求進(jìn)行定制。在選擇時，需要綜合考慮應(yīng)用場景、測量精度、介質(zhì)兼容性以及溫度穩(wěn)定性等因素。?