MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）壓力傳感器是一種微型化的傳感器技術(shù)，它利用微機(jī)械加工和集成電路技術(shù)將機(jī)械結(jié)構(gòu)與電子信號(hào)處理集成在一塊硅晶片上。這種技術(shù)使得壓力傳感器尺寸減小，同時(shí)提高了精度、可靠性和響應(yīng)速度。MEMS壓力傳感器的量程，即它們能夠準(zhǔn)確測(cè)量的壓力范圍，是非常廣泛的，可以從非常低的壓力到極高的壓力。

以下是幾種MEMS壓力傳感器的量程示例：

1、絕壓傳感器：

NSP1630 MEMS絕壓傳感器：量程0kPa~200kPa。

NSP1631 MEMS絕壓傳感器：量程0kPa~500kPa。

2、表壓傳感器：

AGR10 表壓型MEMS壓力傳感器：量程5~350 kPa。

3、其他類(lèi)型：

某些設(shè)計(jì)用于醫(yī)療設(shè)備的MEMS壓力傳感器：量程可達(dá)40 kPa。

適用于汽車(chē)中的MEMS壓力傳感器：在5~500kPa量程范圍內(nèi)應(yīng)用廣泛。

特定應(yīng)用的MEMS壓力傳感器：量程可以達(dá)到6MPa（6000kPa）。

MEMS壓力傳感器因其微型化、高精度和廣泛的量程而被廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，包括但不限于醫(yī)療、汽車(chē)、航空航天和工業(yè)自動(dòng)化。它們的量程從低至幾千帕斯卡（kPa）到高達(dá)兆帕斯卡（MPa）不等，能夠滿(mǎn)足從精密醫(yī)療設(shè)備到極端工業(yè)環(huán)境的各種應(yīng)用需求。?