MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）壓力傳感器是一種微型化的傳感器技術，它利用微機械加工和集成電路技術將機械結構與電子信號處理集成在一塊硅晶片上。這種技術使得壓力傳感器尺寸減小，同時提高了精度、可靠性和響應速度。MEMS壓力傳感器的量程，即它們能夠準確測量的壓力范圍，是非常廣泛的，可以從非常低的壓力到極高的壓力。

以下是幾種MEMS壓力傳感器的量程示例：

1、絕壓傳感器：

NSP1630 MEMS絕壓傳感器：量程0kPa~200kPa。

NSP1631 MEMS絕壓傳感器：量程0kPa~500kPa。

2、表壓傳感器：

AGR10 表壓型MEMS壓力傳感器：量程5~350 kPa。

3、其他類型：

某些設計用于醫(yī)療設備的MEMS壓力傳感器：量程可達40 kPa。

適用于汽車中的MEMS壓力傳感器：在5~500kPa量程范圍內應用廣泛。

特定應用的MEMS壓力傳感器：量程可以達到6MPa（6000kPa）。

MEMS壓力傳感器因其微型化、高精度和廣泛的量程而被廣泛應用于多個領域，包括但不限于醫(yī)療、汽車、航空航天和工業(yè)自動化。它們的量程從低至幾千帕斯卡（kPa）到高達兆帕斯卡（MPa）不等，能夠滿足從精密醫(yī)療設備到極端工業(yè)環(huán)境的各種應用需求。?